百級潔凈室
100級潔凈間的氣流形式是層流方式，空氣以均勻的斷面速度沿平行流線流動，與流體力學(xué)的層流概念不太相同，具體講就是垂直層流側(cè)回風(fēng)。和百級以上潔凈間所采用的混流或亂流方式（即空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動）相比較，它具有效果完全、運(yùn)轉(zhuǎn)迅速穩(wěn)定、粉塵堆集與再飄浮極少，以及管理容易等優(yōu)點，但是設(shè)備造價非常高，維護(hù)費(fèi)用也很高。
潔凈度：粒徑大于等于0.1微米的最大微粒數(shù)不能大于100個。
壓差及溫濕度：溫度22℃±2；濕度55%±5；基本需要滿布ffu，做高架地板。做MAU+ffu+DC系統(tǒng)。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
照度：
由于無塵潔凈室的工作內(nèi)容大多有精細(xì)的要求，而且又都是密閉性房屋，所以，對照明一向有很高的要求。主要有以下幾點：
局部照明：這是指為增加某一指定地點的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明中一般不單獨(dú)使用局部照明。
混合照明：指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成照明，其中，一般照明的照度應(yīng)占總照度的10%-15%。
根據(jù)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》編制組的調(diào)查，對工作認(rèn)為比較合適的最低照度作了統(tǒng)計，其結(jié)果略高于150lx。因此，將一般照明的下限值定為150lx是合適的，雖然在300lx時有更高的工作效率。根據(jù)大量驗收測定發(fā)現(xiàn)，最低照度值達(dá)到200lx以上就比較困難，實際上150lx已相當(dāng)亮了，因為平均照度要高于它很多.工作區(qū)內(nèi)用平均照度意義不大，因為有若干點在150lx以下，就不適合工作。對于特別要求高照度操盤點可以采用局部照明，而不宜普遍提高整個車間的最低照度標(biāo)準(zhǔn)。除可利用局部照明外，必要時也可利用自然光，當(dāng)平面上有外廊時就可以做到這一點。
 
千級潔凈室標(biāo)準(zhǔn)
要了解千級潔凈室，我們先來了解“無塵”這個概念。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
潔凈度：
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
壓差：
對于大部分凈化無塵車間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力;潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力;相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
 
溫濕度：常規(guī)是溫度22±2度，濕度55±5%。
 
萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)
世界各國均有自定規(guī)格，但普遍依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室最大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
潔凈度：潔凈度10000級cleanliness class 10000（P2萬級實驗室即ISO7級）即大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒／m3 (35粒/L)到小于等于350000粒／m3(350粒／L)；大于等于5μm的塵粒數(shù)大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3(3粒/L)。
壓差及溫濕度控制：
1）溫度:干盤管系統(tǒng)控制。
2）濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測的信號,控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進(jìn)水量。
3）正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測的信號,自動調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。
 
檢測標(biāo)準(zhǔn)：
氣流速度及其均勻度檢測，是無塵室效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。
1）室內(nèi)潔凈度的檢測：潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數(shù)器檢測。
2）自凈時間的檢測：通過確定自凈時間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時恢復(fù)其原有潔凈度的能力。
3）照度的檢測：照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
4）振動的檢測：振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。
5）溫、濕度的檢測：溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測無塵室的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測無塵室中心點的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內(nèi)空氣相對溫度，檢測回風(fēng)溫度。
 
10萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)
10萬級凈化車間的潔凈度算起來并不算太高，包括一般的電子，食品飲料，醫(yī)療器械，化妝品廠等。
潔凈度：
100000（10萬）級潔凈室是指工作車間里面每立方米的微粒控制在10W以內(nèi) 潔凈室的生產(chǎn)車間主要用與電子行業(yè)和藥品行業(yè)，食品行業(yè)如果有10萬級的生產(chǎn)車間是相當(dāng)不錯的。100000（10萬）級潔凈室要求每小時換氣15-19次，完全換氣后空氣凈化時間不超過40分鐘。
壓差：
相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。
溫濕度：
十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季 24~26℃；波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。
照度：
潔凈室（區(qū)）的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
送風(fēng)量或風(fēng)速
足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣，根據(jù)不同的潔凈度要求，當(dāng)潔凈室凈高較高時，適當(dāng)增加換氣次數(shù)。當(dāng)10萬級潔凈室高效過濾器集中布置在機(jī)房或系統(tǒng)末端采用亞高效過濾器時，可適當(dāng)提高換氣次數(shù)10-20%。
 
30萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)
空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度。通常空氣中含塵濃度低則空氣潔凈度高，含塵濃度高則空氣潔凈度低。按空氣中懸浮粒子濃度來劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度等級，就是以每立方米空氣中的最大允許粒子數(shù)來確定其空氣潔凈度等級。
藥廠房一般有萬級，十萬級和三十萬級，其中以十萬級（灌裝，內(nèi)包裝）及三十萬級最多，十萬級較三十萬級潔凈度衛(wèi)生要嚴(yán)格很多。
潔凈度：
每立方米大于或等于0.5μm的塵粒最多不能超過10，500，000個；每立方米大于或等于5μm的塵粒最多不能超過60，000個；每立方米浮游菌數(shù)量最多不能超過1000個。
壓差及溫濕度控制：
壓差：不同潔凈級別潔凈室(區(qū))之間，靜壓差大于或等于5PA；潔凈室(區(qū))與室外，靜壓差大于或等于10PA。
溫濕度：溫度——18~28℃；濕度——45~65%。
換氣次數(shù)：
每小時換氣次數(shù)不能小于12次。
 
百萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)
潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級標(biāo)準(zhǔn)。
 
潔凈室的空氣潔凈度測試：
空態(tài)測試：潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，室內(nèi)沒有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測試。
靜態(tài)測試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測試。
動態(tài)測試潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測試：
潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
 
百萬級空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)：
每立方米大于等于0.5μm的塵粒數(shù)不能大于35200000個；每立方米大于等于1μm的塵粒數(shù)不能大于8320000；每立方米大于等于5μm的塵粒數(shù)不能大于293000。
 
送風(fēng)量或風(fēng)速：
足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣，根據(jù)不同的潔凈度要求，當(dāng)潔凈室凈高較高時，適當(dāng)增加換氣次數(shù)。其中，100萬級潔凈室的通風(fēng)量是按高中效凈化系統(tǒng)考慮，其余均按高效凈化系統(tǒng)考慮。
 
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